[实用新型]纠偏装置及等离子设备有效
| 申请号： | 201320708594.2 | 申请日： | 2013-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN203595821U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 赵公魄;赵芝强;梁冠雄;丁雪苗;刘玉平 | 申请（专利权）人： | 珠海宝丰堂电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/10 | 分类号： | G01V8/10;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郑彤;万志香 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纠偏装置及等离子设备，所述纠偏装置包括纠偏传感器、信号接收器和包覆有保护层的电缆，所述纠偏传感器通过所述电缆与所述信号接收器连接；所述纠偏传感器包括第一耐腐蚀性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐蚀性材料制作的耐腐蚀层。在使用时，信号接收器位于常压环境中，纠偏传感器位于真空离子环境中，纠偏传感器的支架和红外受光镜头均由耐腐蚀性材料制成，可以保护支架和红外镜头不被等离子蚀刻的酸性气体腐蚀。而位于常压环境中的信号接收器，其内部电路板不受等离子蚀刻环境的影响，可长期使用。采用上述纠偏装置的等离子设备，性能稳定，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 纠偏 装置 等离子 设备 | ||
【主权项】：
一种纠偏装置，包括纠偏传感器和信号接收器，其特征在于，所述纠偏装置还包括包覆有保护层的电缆，所述纠偏传感器通过所述电缆与所述信号接收器连接；所述纠偏传感器包括第一耐腐蚀性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐蚀性材料制作的耐腐蚀层。
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