[实用新型]纠偏装置及等离子设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及等离子处理领域，特别是涉及纠偏装置及等离子设备。

背景技术

等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。卷性等离子处理设备是用来处理柔性卷式电路板和卷性电子材料，如聚酰亚胺（Polyimide，PI）,电路板覆盖膜等

一般地，卷性等离子处理设备中设有纠偏装置，其纠偏装置包括纠偏传感器和信号接收器，纠偏传感器和信号接收器均置于卷性等离子设备的真空端。当等离子设备工作时，纠偏装置处于等离子蚀刻环境中，此时，信号接收器内部的电路板以及纠偏传感器的红外受光镜头在等离子蚀刻环境中容易被腐蚀，影响纠偏装置的性能。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种信号接收器内部的电路板以及纠偏传感器的红外受光镜头不易被腐蚀的纠偏装置及等离子设备。

一种纠偏装置，包括纠偏传感器和信号接收器，所述纠偏装置还包括包覆有保护层的电缆，所述纠偏传感器通过所述电缆与所述信号接收器连接；

所述纠偏传感器包括第一耐腐性性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐蚀性材料制作的耐腐蚀层。

在其中一个实施例中，所述保护层的厚度为所述电缆直径的0.5倍～3倍。

在其中一个实施例中，所述红外受光镜头包括发射端和接收端，所述发射端与所述接收端相对设置。

在其中一个实施例中，所述保护层的材质为聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡胶。聚四氟乙烯具有较好的耐酸碱性，采用聚四氟乙烯作为保护层的材质可以保护电缆免遭等离子环境的腐蚀。

在其中一个实施例中，所述第一耐腐蚀性材料为铝合金或钛。铝合金不仅具有耐腐蚀性能，而且还具有密度小的优点，采用铝合金制作支架，可以减轻纠偏装置的重量。

在其中一个实施例中，所述第二耐腐蚀性材料为玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。

一种等离子设备，包括真空腔室以及设置在所述真空腔室内的放料轴和收料轴，所述放料轴和所述收料轴分别由伺服电机驱动，所述真空腔室内设有等离子区域，所述等离子设备还设有纠偏装置，所述纠偏装置包括纠偏传感器、信号接收器和包覆有保护层的电缆，所述纠偏传感器位于所述等离子区域内，所述电缆穿出所述真空腔室，所述电缆一端与所述纠偏传感器连接，另一端与所述信号接收器连接；

所述纠偏传感器包括第一耐腐蚀性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐性材料制作的耐腐蚀层。

在其中一个实施例中，所述保护层的厚度为所述电缆直径的0.5倍～3倍。

在其中一个实施例中，所述红外受光镜头包括发射端和接收端，所述发射端与所述接收端相对设置。

在其中一个实施例中，所述保护层的材质为聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡胶，所述第一耐腐蚀性材料为铝合金或钛，所述第二耐腐蚀性材料为玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。

上述纠偏装置，采用包覆有保护层的电缆将纠偏传感器和信号接收器连接起来，纠偏传感器和信号接收器分体式设置，纠偏传感器和信号接收器可以在不同的工作环境运行。在使用时，信号接收器位于常压环境中，纠偏传感器位于真空离子环境中，纠偏传感器的支架和红外镜头均由防腐蚀性材料制成，可以保护支架和红外镜头不被等离子蚀刻的酸性气体腐蚀。而位于常压环境中的信号接收器，其内部电路板不受等离子蚀刻环境的影响，不容易被腐蚀，可长期使用。采用上述纠偏装置的等离子设备，性能稳定，使用寿命长。

附图说明

图1为一实施方式的纠偏装置的结构示意图；

图2为一实施方式的纠偏装置的立体结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。