[实用新型]一种集成电路的金属布线结构有效
| 申请号: | 201320682656.7 | 申请日: | 2013-10-30 |
| 公开(公告)号: | CN203562421U | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
| 发明(设计)人: | 叶艳;李晓骏 | 申请(专利权)人: | 西安华芯半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L23/485 |
| 代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 胡乐 |
| 地址: | 710055 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本实用新型提供一种集成电路金属布线结构,能够简便、有效地产生集成电路中信号间的电容。该集成电路的金属布线结构,包括n层金属,n大于1,每层金属为多条平行的金属线,其中同层金属存在传输不同信号的金属线;相邻层金属存在传输不同信号的金属线;相邻层金属,传输相同信号的金属线之间通过通孔上下相接。本实用新型在集成电路中仅通过使用金属互联线就可以产生电容;不需要使用有源区的面积;电容的速度快;由于电容是在芯片生产的后道工艺中制作,即使芯片的前道工艺已经完成,还可以有机会和时间设计和制作这样的电容。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 集成电路 金属 布线 结构 | ||
【主权项】:
一种集成电路的金属布线结构,包括n层金属,n大于1,其特征在于:每层金属为多条平行的金属线,其中同层金属存在传输不同信号的金属线;相邻层金属存在传输不同信号的金属线;相邻层金属,传输相同信号的金属线之间通过通孔上下相接。
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