[实用新型]一种常压化学气相淀积设备的履带轨迹自动调整装置

摘要

本实用新型涉及一种常压化学气相淀积设备的履带轨迹自动调整装置，设置在工艺腔室出口位置的履带下方，所述的履带轨迹自动调整装置包括对称设置在履带两侧的步进电机，以及设置在履带下方的调整轴，所述调整轴下方设有传感器；所诉履带轨迹自动调整装置还包括有控制器，所述控制器分别与步进电机和传感器电气连接,由此构成履带自动调整装置。本装置在出口位置对履带位置进行检测，如传感器检测到履带偏离则反馈给控制器，控制器通过调整器对履带位置调整，直到位置正常。

主权项

一种常压化学气相淀积设备的履带轨迹自动调整装置，其特征在于：所述的履带轨迹自动调整装置包括对称设置在履带（7）下方的调整轴（2）以及对称设置在调整轴（2）两端的左步进电机（1）和右步进电机（3）；所述履带（7）下方还设有传感器（5）和控制器（6），所述控制器（6）通过连接线（4）分别与步进电机和传感器（5）电气连接,由此构成履带自动调整装置。