[实用新型]一种多发光单元半导体激光器空间偏振测试装置有效
| 申请号: | 201320660825.7 | 申请日: | 2013-10-24 |
| 公开(公告)号: | CN203629789U | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
| 发明(设计)人: | 王贞福;刘兴胜 | 申请(专利权)人: | 西安炬光科技有限公司 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01L1/24 |
| 代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 胡乐 |
| 地址: | 710119 陕西省西安市高*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本实用新型提供一种多发光单元半导体激光器空间偏振测试装置,包括依次设置的多发光单元半导体激光器、快慢轴准直透镜组件、具有放大作用的显微物镜、位置可调的孔径光阑、以及偏振分束棱镜,透过孔径光阑的光经偏振分束棱镜,分为TE偏振光和TM偏振光,在形成的透射光路和反射光路上分别设置有光功率探测器。本实用新型能够测量多发光单元半导体激光器的空间偏振信息,进而实现定量评价半导体激光器封装所所产生的应力,从而改善封装工艺。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 多发 单元 半导体激光器 空间 偏振 测试 装置 | ||
【主权项】:
一种多发光单元半导体激光器空间偏振测试装置,包括依次设置的多发光单元半导体激光器、快慢轴准直透镜组件、具有放大作用的显微物镜、位置可调的孔径光阑、以及偏振分束棱镜,透过孔径光阑的光经偏振分束棱镜,分为TE偏振光和TM偏振光,在形成的透射光路和反射光路上分别设置有光功率探测器。
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