[实用新型]晶体生长炉真空管冷却结构有效
| 申请号： | 201320654285.1 | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN203602755U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 邱萍;茅陆荣;李广敏;缪锦泉;那日萨 | 申请（专利权）人： | 上海森松化工成套装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 201323 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶体生长炉真空管冷却结构，包含真空管，真空管的出口端与晶体生长炉炉体连接，还包含：套设在真空管进口端的法兰、夹套和封板，夹套的两端为不封闭的具有开口；法兰和封板分别位于夹套的两侧，封闭夹套两侧的开口，使夹套内部形成腔体；所述夹套上还具有一个与所述腔体连通的进口端，和一个与所述腔体连通的出口端。同现有技术相比，通过夹套上的进口端可不断的将冷却介质引入腔体内，通过冷却介质对位于腔体内的真空管以及腔体一侧的法兰进行冷却，经换热后的冷却介质再由出口端排出，从而对真空管和法兰的温度进行控制，使真空管和法兰的温度保持在一个正常的范围内。并且夹套与炉体之间存在预设长度的间距，方便工人施焊。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 真空管 冷却 结构 | ||
【主权项】：
一种晶体生长炉真空管冷却结构，包含真空管，所述真空管的出口端与晶体生长炉炉体连接，所述的晶体生长炉真空管冷却结构还包含：套设在所述真空管进口端的法兰，其特征在于：所述晶体生长炉真空管冷却结构还包含：套设在所述真空管上的夹套和封板，所述夹套的两端为不封闭的具有开口；所述法兰和所述封板分别位于与所述夹套的两侧，封闭所述夹套两侧的开口，使所述夹套内部形成腔体；所述夹套上还设有一个与所述腔体连通的进口管，和一个与所述腔体连通的出口管。
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