[实用新型]晶体生长炉真空管冷却结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体生长炉，特别涉及一种晶体生长炉真空管冷却结构。

背景技术

半导体照明亦称固态照明，具有耗电量少、寿命长、可控性强等特点，目前产品光效已超过传统光源，价格快速下降，正在成为照明史上继白炽灯、荧光灯之后的又一场照明光源的革命。在全球能源危机、环保要求不断提高的情况下，低功耗、长寿命的半导体照明已被世界公认为一种节能环保的重要途径。面对半导体照明产业巨大的市场空间与节能潜力，很多发达国家都将半导体照明列为战略性高技术产业。从全球来看，半导体照明产业已形成以美国、亚洲、欧洲三大区域为主导的三足鼎立的产业分布与竞争格局。而我国的LED产业起步于20世纪70年代，现已基本形成较为完整的产业链。

而蓝宝石单晶体作为目前市场上的LED衬底的主要材料，该单晶具有非常稳定的化学性能，良好的机械性能，优良的热传导性和电气绝缘性。由于其具有独特优异的力学、光学性能，适合在恶劣条件下工作，被广泛的应用于各种光学元件和红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。而且因为它具有与氮化镓类似的结构，是目前实际应用中LED和LD发光二极管半导体最为理想的衬底材料。

由于蓝宝石多晶在高温真空环境中，并在一定的温度梯度下才能转变为蓝宝石单晶体。在生产过程中真空泵需要持续的抽真空以保证设备内的真空度，但同时炉体内的热量也会经过真空口通过辐射传导到真空管和与真空管连接的法兰上，导致其温度过高，从而影响到真空泵的正常工作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶体生长炉真空管冷却结构，以克服与炉体连接的真空管在高温真空环境温度过高的缺陷。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶体生长炉真空管冷却结构，包含真空管，所述真空管的出口端与晶体生长炉炉体连接，所述的晶体生长炉真空管冷却结构还包含：套设在所述真空管进口端的法兰；

所述所述的晶体生长炉真空管冷却结构还包含：套设在所述真空管上的夹套和封板，所述夹套的两端为不封闭的具有开口；

所述法兰和所述封板分别位于所述夹套的两侧，封闭所述夹套两侧的开口，使所述夹套内部形成腔体；

所述夹套上还设有一个与所述腔体连通的进口管，和一个与所述腔体连通的出口管。

本实用新型的实施方式相对于现有技术而言，由于在真空管上套设有由夹套、封板和法兰构成的腔体，且夹套上还设置有与腔体导通的进口管和出口管。当真空管在高温真空环境中时，通过夹套上的进口管可不断的将冷却介质引入腔体内，通过冷却介质对位于腔体内的真空管以及腔体一侧的法兰进行冷却，经换热后的冷却介质再由出口管排出，从而对真空管和法兰的温度进行控制，使真空管和法兰的温度保持在一个正常的范围内，不会影响到与其真空管连接的真空泵的正常运行。

进一步的，套设在所述真空管上的夹套，与所述真空管出口端连接的晶体生长炉炉体之间存在预设长度的间距。即夹套与晶体生长炉炉体之间隔开了一定的距离，所以当夹套分别与法兰和封板在进行装配时，可方便操作工人对其进行焊接。

另外，所述进口管和所述出口管沿竖直方向对称设置在所述夹套上。由于进口管和出口管是竖直，且对称设置在夹套上，所以保证冷却介质是从下而上通过进口管流入腔体后，再从出口管流出，使冷却介质具有较高的流动性，保证经过换热后的冷却介质不会在腔体内滞留过多的时间，能够快速的从出口管中排出，进一步加强了对真空管和法兰的冷却效果。

并且，当需要向腔体内填充冷却介质时，可预先准备两个橡胶软管、或其他材质制作的输送管道，将其管道直接与夹套上的进口管和出口管连接即可，冷却介质通过与进口管连接的管道流入腔体内，并通过与出口管连接的管道将其排出，从而达到对真空管和法兰循环换热的目的。

优选的，所述封板与所述夹套之间采用焊接连接，所述夹套和所述法兰之间采用焊接连接。由于焊接连接具有较好的牢固性和密封性，不但能够使整个冷却结构具有较好的稳固性，而且由于采用焊接连接能够使部件与部件之间具有较好的紧密度，防止填充到腔体8内的冷却介质发生泄漏，使腔体8具有较好的密封性能。通过焊接连接可进一步增加各部件之间连接的牢固性。

附图说明

图1为本实用新型第一实施方式的晶体生长炉真空管冷却结构的结构示意图。

具体实施方式