[实用新型]大气压等离子放电专用射频自动匹配器有效
| 申请号： | 201320649525.9 | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN203492260U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李树瑜 | 申请（专利权）人： | 北京吉兆源科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京科兴园专利事务所 11233 | 代理人： | 王蕴;唐根清 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种大气压等离子放电专用射频自动匹配器，属于电子仪器设备领域，包含一个整体机箱，机箱前面板上设有匹配器控制显示部分，电容位置调节，匹配器控制按键，整体机箱内部设有一块电路板，电路板上含有一个进行采样的射频匹配传感器，还包含两个可变电容与一个可调电感的组合调谐部分，与该部分相连接的是伺服电机和匹配控制电路；再连有一个独立的射频电压采集电路，采集射频高压数据；将传感器和射频电压两部分信息送至与它们相连接的中央处理器芯片。该自动匹配器有效地解决了射频大气压等离子放电调节困难，放电不稳定的问题，达到匹配速度快和精确，放电稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 大气压 等离子 放电 专用 射频 自动 配器 | ||
【主权项】：
一种大气压等离子放电专用射频自动匹配器，包含一个整体机箱，机箱前面板上设有匹配器控制显示部分，电容位置调节，匹配器控制按键，其特征在于，整体机箱内部设有一块电路板，电路板上含有一个进行采样的射频匹配传感器，还设有包含两个可变电容与一个可调电感的组合调谐部分，与该部分相连接的是伺服电机部分和匹配控制电路部分；再连有一个独立的射频电压采集电路，采集射频高压数据：在电路主板上将传感器和射频电压两部分信息送至与它们相连接的中央处理器芯片，实现对该匹配器的整体控制。
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