[实用新型]大气压等离子放电专用射频自动匹配器

说明书

技术领域

本实用新型属于电子仪器设备领域，特别涉及到一种大气压等离子放电专用射频自动匹配器。

背景技术

用射频驱动大气压下的等离子体放电，在越来越多的领域引起广泛重视.包括大气等离子清洗，大气等离子改性，大气等离子镀膜等。但到目前止没有专用的自动匹配器。在已有技术中主要用手动的匹配器，它们调节困难，放电时不容易点火和维持稳定放电。由于大气压放电位置要求得非常精准，、临界，手动很难把握，容易出现不到位，手微微动一下，易出现调节过头的状况，需要操作人员非常熟练和有经验才能成功放电和维持稳定放电。严重阻碍了国内研制大气压下放电仪器的发展.

大气压等离子体的微小扰动，都会对阻抗形成大的影响，要求匹配器随时跟踪等离子体的阻抗变化，这样就要求操作人员不停地检测阻抗，随时微调。由于对操作人员的要求过高，使其在工业生产中不能够实现自动化和连续生产。

发明内容

本实用新型需要解决的技术问题是针对上述手动匹配器中调节困难、放电不易点火以及不易稳定维持放电等诸多困难问题，为了克服这些困难，就需要对通用的匹配器进行重新设计，使其能够实现自动点火，自动匹配和维持稳定放电。

本实用新型的目的是提供一种大气压等离子放电专用射频自动匹配器。为了实现本实用新型的目的，所采用的技术方案如下，一种大气压等离子放电专用射频自动匹配器，包含一个整体机箱，机箱前面板上设有匹配器控制显示部分，电容位置调节，匹配器控制按键，其特征在于，整体机箱内部设有一块电路板，电路板上含有一个进行采样的射频匹配传感器，还设有包含两个可变电容与一个可调电感的组合调谐部分，与该部分相连接的是伺服电机部分和匹配控制电路部分；针对大气压放电高电压的特点，采用一个独立的射频电压采集电路，采集射频高压数据；在电路主板上将传感器和射频电压两部分信息送至与它们相连接的中央处理器芯片，实现对该匹配器的整体控制。

本实用新型的有益效果是，该自动匹配器是专门用于大气压等离子放电的，有效地解决了射频大气压等离子放电调节困难，放电不稳定的问题，达到匹配速度快和精确，放电稳定。为今后大气压等离子体的工业应用奠定基础.使其能够实现自动化控制和连续生产.

附图说明

图1为大气压等离子放电专用射频自动匹配器的整体机箱图；

图2为机箱前面板示意图；

图3为自动匹配器整体机箱内部电路连接关系图。

具体实施方式

参照图1，表示大气压等离子放电专用射频自动匹配器的整体机箱示意图，图中1为整体机箱外形，前面板上包含有匹配器控制显示部分1-1，电容位置调节，匹配器控制按键1-2，射频电源通过射频输入接头输入到射频传感器2-1中，该传感器测量射频信号的幅值和相位，输入到电压采集电路2-5采集射频电压，输入到电路主板2，主板按照设定的算法计算得到ca、cb电容的容量，通过驱动电机控制2-3将可调电容、电感的组合部分2-2调节到计算的数值，达到将负载阻抗调到50欧的目的。射频电压采集电路2-5负责将射频高压分压后，采集输入到计算处理单元2-6参与匹配计算。