[实用新型]一种防止磁控溅射中银靶在基板边缘绕镀的传动装置有效
| 申请号： | 201320634898.9 | 申请日： | 2013-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN203487227U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 王伟 | 申请（专利权）人： | 山东禹城汉能光伏有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 李桂存 |
| 地址： | 251200 山东省德州*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种防止磁控溅射中银靶在基板边缘绕镀的传动装置。本一种防止磁控溅射中银靶在基板边缘绕镀的传动装置，包括设置在银靶腔室中的由无油链条、无油齿轮和轴承组成的链条传动装置、设置在链条传动装置上的上、下两组承载装置和位于链条传动装置同侧的三个传感器以及设置在银靶腔室外的电机、主动轮、从动轮和磁流体，电机连接主动轮，主动轮和从动轮啮合，从动轮通过传动轴连接链条传动装置，传动轴通过磁流体穿透银靶腔室；两组承载装置均安装在无油链条上，每组承载装置均包括用于遮挡基板前、后边缘的前承载挡片、中间承载挡片和后承载挡片以及若干个侧承载挡片。本实用新型可有效防止银靶使用中在基板边缘产生的绕度现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 磁控溅射 中银靶 边缘 传动 装置 | ||
【主权项】：
一种防止磁控溅射中银靶在基板边缘绕镀的传动装置，其特征在于：包括设置在银靶腔室（1）中的由无油链条（2‑1）、无油齿轮（2‑2）和轴承组成的链条传动装置（2）、设置在链条传动装置（2）上的上、下两组承载装置（3）和位于链条传动装置（2）同侧的三个传感器（4）以及设置在银靶腔室（1）外的电机（5）、主动轮（6）、从动轮（7）和磁流体（8），所述电机（5）连接主动轮（6），主动轮（6）和从动轮（7）啮合，从动轮（7）通过传动轴（9）连接链条传动装置（2），传动轴（9）通过磁流体（8）穿透银靶腔室（1）；所述两组承载装置（3）均安装在无油链条（2‑1）上，每组承载装置（3）均包括用于遮挡基板前、后边缘的前承载挡片（3‑1）、中间承载挡片（3‑2）和后承载挡片（3‑3）以及便于承载装置（3）传动、且可遮挡基板侧边缘的若干个侧承载挡片（3‑4）。
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