[实用新型]硅片清洗片盒

摘要

本实用新型硅片清洗片盒，包括：支撑板，支撑板的数量为两块，两块支撑板相向设置；支撑杆，支撑杆的数量为多根，多根支撑杆通过螺钉设置在两块支撑板之间，支撑杆的两端分别与两块支撑板连接；加强杆，加强杆的数量为多根，多根加强杆设置在两块支撑板之间，加强杆的两端分别与两块支撑板连接。本实用新型硅片清洗片盒首先解决了硅片容易漂浮及易产生污迹的问题；其次可以降低片盒的变形状况，提高片盒使用寿命；第三作为改善品，在两端固定的不锈钢板上有不同距离的通孔，这样就可以通过调节支撑杆的安装位置来调节片盒的尺寸，这样片盒就可以在6寸、6.5寸及8寸产品间通用，减少片盒采购数量。

主权项

硅片清洗片盒，其特征在于，包括：支撑板，所述支撑板的数量为两块，两块所述支撑板相向设置；支撑杆，所述支撑杆的数量为多根，多根所述支撑杆通过螺钉设置在两块所述支撑板之间，所述支撑杆的两端分别与两块所述支撑板连接；加强杆，所述加强杆的数量为多根，多根所述加强杆设置在两块所述支撑板之间，所述加强杆的两端分别与两块所述支撑板连接。