[实用新型]气体供给装置有效
| 申请号： | 201320615768.0 | 申请日： | 2013-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN203591795U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张海华;高椋敦嗣 | 申请（专利权）人： | 德山化工（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/14 | 分类号： | B01J19/14 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人： | 韩登营 |
| 地址： | 314201 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气体供给装置，该气体供给装置具有惰性气体配管、分支配管、硅烷传感器、第1阀门、第2阀门、第3阀门。上述惰性气体配管连接供液态氯硅烷流动的氯硅烷配管和惰性气体供给源。上述分支配管与上述惰性气体配管相连接。上述硅烷传感器设置在上述分支配管上。上述第1阀门设置在上述惰性气体配管上，且配置在上述氯硅烷配管和上述分支配管之间。上述第2阀门设置在上述惰性气体配管上，且配置在上述惰性气体供给源和上述分支配管之间。上述第3阀门设置在上述分支配管上，且配置在上述惰性气体配管和上述硅烷传感器之间。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种气体供给装置，其特征在于，具有： 惰性气体配管，其用于连接供液态氯硅烷流动的氯硅烷配管和惰性气体供给源； 分支配管，其与所述惰性气体配管相连接； 硅烷传感器，其设置在所述分支配管上； 第1阀门，其设置在所述惰性气体配管上，且配置在所述氯硅烷配管和所述分支配管之间； 第2阀门，其设置在所述惰性气体配管上，且配置在所述惰性气体供给源和所述分支配管之间； 第3阀门，其设置在所述分支配管上，且配置在所述惰性气体配管和所述硅烷传感器之间。
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