[实用新型]气体供给装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于向供液态氯硅烷流动的配管供给惰性气体的气体供给装置。

背景技术

作为氯硅烷，人们公知如三氯硅烷或者四氯化硅的高氯硅烷。三氯硅烷例如用于合成半导体。四氯化硅例如用于作为光纤的材料。

这些氯硅烷为挥发性强的液体。氯硅烷与水蒸气和水接触则会劣化，而且其与水接触会产生氯化氢等有害气体。因此，氯硅烷一般在由惰性气体密封的状态下处理。

另外，在将氯硅烷导入配管内之前，要预先将惰性气体导入。从而使配管内的空气被惰性气体充分地置换。惰性气体例如可以使用高纯度的氮气。

实用新型内容

一般情况下，液态氯硅烷的配管和氮气的配管是通过如球阀等的阀门隔开的。而球阀由于磨损等原因会慢慢劣化。随着球阀劣化的加剧，会发生大气混入到氯硅烷的配管当中导致氯硅烷品质恶化、或者致使氯硅烷泄漏到大气当中的危险。

鉴于上述情况，本实用新型的目的是提供一种能迅速地检测出阀门劣化的气体供给装置。

为实现上述目的，本实用新型的一个技术方案所涉及的气体供给装置具有惰性气体配管、分支配管、硅烷传感器、第1阀门、第2阀门、第3阀门。

上述惰性气体配管连接供液态氯硅烷流动的氯硅烷配管和惰性气体供给源。

上述分支配管与上述惰性气体配管相连接。

上述硅烷传感器设置在上述分支配管上。

上述第1阀门设置在上述惰性气体配管上，且配置在上述氯硅烷配管和上述分支配管之间。

上述第2阀门设置在上述惰性气体配管上，且配置在上述惰性气体供给源和上述分支配管之间。

上述第3阀门设置在上述分支配管上，且配置在上述惰性气体配管和上述硅烷传感器之间。

【本实用新型的效果】

本实用新型能够提供一种能迅速地检测出阀门劣化的气体供给装置。

附图说明

图1是表本实用新型的一个实施方式所涉及的气体供给装置的主要结构示意图。

图2是表示上述气体供给装置的主要结构示意图。

图3是表示上述气体供给装置的主要结构示意图。

【附图标记符号说明】

1：气体供给装置；10：氮气配管；20：分支配管；11、12、21：阀门；22：硅烷传感器；100：氯硅烷配管。

具体实施方式

本实用新型的一个实施方式所涉及的气体供给装置具有惰性气体配管、分支配管、硅烷传感器、第1阀门、第2阀门、第3阀门。

上述惰性气体配管连接供液态氯硅烷流动的氯硅烷配管和惰性气体供给源。

上述分支配管与上述惰性气体配管相连接。

上述硅烷传感器设置在上述分支配管上。

上述第1阀门设置在上述惰性气体配管上，且配置在上述氯硅烷配管和上述分支配管之间。

上述第2阀门设置在上述惰性气体配管上，且配置在上述惰性气体供给源和上述分支配管之间。

上述第3阀门设置在上述分支配管上，且配置在上述惰性气体配管和上述硅烷传感器之间。

根据该结构，通过硅烷传感器能够检测出氯硅烷从第1阀门泄露，从而能够检测出第1阀门的劣化。因此，能够提早更换第1阀门，从而能够迅速地防止氯硅烷从第1阀门泄露。

下面，参照附图说明本实用新型的实施方式。

【整体结构】

图1是表示本实用新型的一个实施方式所涉及的气体供给装置1的主要结构示意图。气体供给装置1与供三氯硅烷或者四氯化硅等液态的高氯硅烷流动的氯硅烷配管100相连接，用于将惰性气体导入氯硅烷配管100内。在本实施方式中，作为惰性气体使用氮气，但并不局限于此，也可以使用氩气等其他惰性气体。

气体供给装置1具有氮气配管10、分支配管20、阀门11、12、21。氮气配管10和分支配管20为直线状的管配件。阀门11、12、21为球阀。在图1所示的状态中，阀门11、12、21均处于关闭状态。

氮气配管10连接氯硅烷配管100和氮气供给源（未图示）。在氮气配管10上设置有阀门11、12。阀门11配置在比阀门12靠近氯硅烷配管100侧的位置上。

分支配管20与氮气配管10的位于阀门11和阀门12之间的部分相连接。分支配管20的位于与氮气配管10的相反一侧的端部23处于敞口状态。在分支配管20上设置有硅烷传感器22。另外，在分支配管20上设置有阀门21，该阀门21配置在相对于硅烷传感器22靠近氮气配管10侧的位置上。