[实用新型]一种脉冲式离子源及质谱仪

摘要

实用新型公开了一种脉冲式离子源及质谱仪。该脉冲式离子源包括：加速电极板，离子生成腔室，离子处理腔室，第一脉冲电源，第二脉冲电源，加速电源，延时发生器。离子处理腔室包括有第一偏转板组、第二偏转板组、用于汇聚离子的离子透镜、开有一孔的第一遮挡板、开有一孔的第二遮挡板。本实用新型脉冲式离子源实现了离子种类选择的功能，并且较现有技术结构简单、加工工艺简单。

主权项

一种脉冲式离子源，其特征在于，包括：由开有一孔的加速电极板隔开的离子生成腔室和离子处理腔室；所述离子处理腔室内设置有第一偏转板组、第二偏转板组、用于汇聚离子的至少一个离子透镜、开有一孔的第一遮挡板和开有一孔的第二遮挡板；所述加速电极板上的孔、所述第一遮挡板的孔、所述第二遮挡板的孔和所述用于汇聚离子的离子透镜位于同一轴线上；所述第一偏转板组位于所述加速电极板与所述第一遮挡板之间，在靠近所述加速电极板的一侧沿所述轴线两侧相对分布；所述第二偏转板组位于所述第一遮挡板与所述第二遮挡板之间，在靠近所述第一遮挡板的一侧沿所述轴线两侧相对分布；所述用于汇聚离子的离子透镜位于所述加速电极板与所述第一遮挡板之间；所述第一偏转板组与第一脉冲电源连接，所述第二偏转板组与第二脉冲电源连接，所述加速电极板与加速电源连接；所述第一脉冲电源和所述第二脉冲电源分别与用于延时触发第一脉冲电源和第二脉冲电源的延时发生器连接。