[实用新型]一种脉冲式离子源及质谱仪

权利要求书

1.一种脉冲式离子源，其特征在于，包括：

由开有一孔的加速电极板隔开的离子生成腔室和离子处理腔室；

所述离子处理腔室内设置有第一偏转板组、第二偏转板组、用于汇聚离子的至少一个离子透镜、开有一孔的第一遮挡板和开有一孔的第二遮挡板；

所述加速电极板上的孔、所述第一遮挡板的孔、所述第二遮挡板的孔和所述用于汇聚离子的离子透镜位于同一轴线上；

所述第一偏转板组位于所述加速电极板与所述第一遮挡板之间，在靠近所述加速电极板的一侧沿所述轴线两侧相对分布；

所述第二偏转板组位于所述第一遮挡板与所述第二遮挡板之间，在靠近所述第一遮挡板的一侧沿所述轴线两侧相对分布；

所述用于汇聚离子的离子透镜位于所述加速电极板与所述第一遮挡板之间；

所述第一偏转板组与第一脉冲电源连接，所述第二偏转板组与第二脉冲电源连接，所述加速电极板与加速电源连接；

所述第一脉冲电源和所述第二脉冲电源分别与用于延时触发第一脉冲电源和第二脉冲电源的延时发生器连接。

2.如权利要求1所述的脉冲式离子源，其特征在于，所述用于汇聚离子的离子透镜位于所述加速电极板和所述第一偏转板组之间；或者，

所述用于汇聚离子的离子透镜位于所述第一偏转板组和所述第一遮挡板之间。

3.如权利要求2所述的脉冲式离子源，其特征在于，所述用于汇聚离子束的至少一个离子透镜为单透镜。

4.如权利要求1所述的脉冲式离子源，其特征在于，所述第一偏转板组的结构为平面结构或者曲面结构或者折面结构；

所述第二偏转板组的结构为平面结构或者曲面结构或者折面结构。

5.如权利要求1～4任一项所述的脉冲式离子源，其特征在于，所述离子生成腔室内设置有：

靠近所述加速电极板的阳极板，所述阳极板开有一孔径小于0.5mm的孔；

位于所述阳极板不与所述加速电极板相对的一侧的中间电极；

所述中间电极为中空结构，在与所述阳极板相对的一端设置有锥形口；

位于所述中间电极的中空结构内的阴极；

所述阴极为设置有入射口和出射口的中空结构；

所述阴极的入射口、所述阴极的出射口和所述阳极板的开口位于所述轴线上。

6.一种离子质谱仪，其特征在于，包括如权利要求1～5任一项所述的脉冲式离子源。