[实用新型]提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置有效
| 申请号： | 201320597596.9 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN203474467U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 姜大川;刘子成;谭毅 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 实用新型涉及一种提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构，其特征在于炉体与保温套筒之间竖直通连有石墨管，该石墨管下方连接有曲形石墨加热器，该曲形石墨加热器位于保温套筒和石英坩埚之间，位于炉体外上方的石墨管上连接有驱动机构。本实用新型的优点在于：（1）金属杂质在定向凝固后的硅锭中分布具有方向性，便于切除，减少尾部废料的切除率；（2）设备改造简单，在现有设备的基础上，只需要在石英坩埚上方增加曲形石墨加热器即可，成本控制好；（3）减少了原料的浪费，大大缩减了多晶硅原料的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 效果 多晶 定向 凝固 装置 | ||
【主权项】：
一种提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构，其特征在于炉体与保温套筒之间竖直通连有石墨管，该石墨管下方连接有曲形石墨加热器，该曲形石墨加热器位于保温套筒和石英坩埚之间，位于炉体外上方的石墨管上连接有驱动机构。
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