[实用新型]MEMS换能器和电子设备有效
| 申请号： | 201320591840.0 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN203661289U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | C·R·詹金斯;T·胡克斯特拉;E·J·博伊德 | 申请（专利权）人： | 沃福森微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R23/00 | 分类号： | H04R23/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;杨勇 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本申请涉及MEMS换能器和电子设备，该MEMS换能器提供对于声学冲击的增强的耐久性和适应性。本申请描述了一种换能器结构，该换能器结构具有被支撑在第一容积（109）和第二容积（110）之间的柔性膜（101）。该换能器结构包括与第一容积和第二容积中的至少一个连通的至少一个可变通气部结构（401），该可变通气部结构包括至少一个可移动部，所述可移动部响应于该可移动部两侧的压力差而可移动，从而改变穿过所述通气部结构的流动路径的尺寸。该可变通气部可被形成为穿过该膜，且该可移动部可以是该膜的一部分，该部分由一个或多个通道限定，可被偏转远离所述膜的表面。 | ||
| 搜索关键词： | mems 换能器 电子设备 | ||
【主权项】：
一种MEMS换能器，其特征在于，包括：一个柔性膜；以及至少一个可变通气部结构，其中所述可变通气部结构提供一个流动路径，该流动路径具有随着所述膜两侧的压力差而变化的尺寸。
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