[实用新型]MEMS换能器和电子设备

权利要求书

1.一种MEMS换能器，其特征在于，包括：

一个柔性膜；以及

至少一个可变通气部结构，其中所述可变通气部结构提供一个流动路径，该流动路径具有随着所述膜两侧的压力差而变化的尺寸。

2.如权利要求1所述的MEMS换能器，其特征在于：

所述可变通气部结构包括至少一个可移动部，所述至少一个可移动部响应于所述可移动部两侧的压力差而可移动，从而改变穿过所述通气部结构的流动路径的尺寸。

3.如权利要求2所述的MEMS换能器，其特征在于：所述至少一个可移动部的平衡位置相应于流动路径的最小尺寸。

4.如权利要求3所述的MEMS换能器，其特征在于：所述至少一个可移动部的所述平衡位置相应于所述流动路径被基本上闭合。

5.如权利要求2至4中任一项所述的MEMS换能器，其特征在于：所述柔性膜被支撑在第一容积和第二容积之间，以及其中所述至少一个可变通气部结构的所述流动路径在所述第一容积和第二容积之间。

6.如权利要求2至4中任一项所述的MEMS换能器，其特征在于：至少一个所述可变通气部结构被形成在所述柔性膜中，并且所述流动路径是一个穿过所述柔性膜的路径。

7.如权利要求6所述的MEMS换能器，其特征在于：所述至少一个可移动部是可移动的，以暴露所述柔性膜中的一个孔。

8.如权利要求6所述的MEMS换能器，其特征在于：所述至少一个可移动部包括所述柔性膜的一部分，该部分能够被偏转远离所述柔性膜的其余部分的表面。

9.如权利要求8所述的MEMS换能器，其特征在于：所述柔性膜的所述至少一个可移动部由贯穿所述柔性膜的一个或多个通道限定。

10.如权利要求8所述的MEMS换能器，其特征在于：所述至少一个可移动部是下列形状中的一个：大体三角形形状、大体圆形形状或大体长方形形状。

11.如权利要求8所述的MEMS换能器，其特征在于：所述柔性膜的所述可移动部经由一个梁结构被连接至所述柔性膜的其余部分。

12.如权利要求11所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构能够扭曲，以允许所述柔性膜的所述可移动部被偏转远离所述柔性膜的其余部分的表面。

13.如权利要求11所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构具有一个非直线性路径。

14.如权利要求13所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构的至少一部分具有一个蛇状路径。

15.如权利要求11所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构包括所述梁的平面内的一个或多个弯曲部。

16.如权利要求15所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构包括多个基本上成直角的弯曲部。

17.如权利要求11所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构包括至少一个扭转弹簧，所述至少一个扭转弹簧位于所述柔性膜的所述可移动部和其余部分之间。

18.如权利要求11所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构能够弯曲，以允许所述可移动部被偏转远离所述柔性膜的其余部分的表面。

19.如权利要求13所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构包括一个叶片弹簧。

20.如权利要求18所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构具有一个蛇状路径。

21.如权利要求18所述的MEMS换能器，其特征在于：所述梁结构被配置为使得所述柔性膜的所述可移动部在基本上垂直于所述柔性膜的方向上可偏转远离所述柔性膜的其余部分的表面。

22.如权利要求8所述的MEMS换能器，其特征在于：所述可移动部经由一个弹簧结构被连接至所述柔性膜的其余部分。

23.如权利要求22所述的MEMS换能器，其特征在于：所述弹簧结构能够扭曲，以允许所述柔性膜的所述可移动部被偏转远离所述柔性膜的其余部分的表面。