[实用新型]外延片生长基盘有效
| 申请号： | 201320559604.0 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN203474961U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 邓顺达;林溪汉;黄英杰 | 申请（专利权）人： | 冠铨（山东）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东省济宁市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 延片生长基盘，由储槽、盘体组成，其特征是储槽设置在盘体上，储槽设置为直径相等的圆形，本实用新型的有益效果是外延片生长基盘一次能生长54片，生产效率高，生产成本低，外延片的均匀性较好，外延片的质量稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 生长 | ||
【主权项】：
外延片生长基盘，由储槽（1）、盘体（2）组成，其特征是储槽（1）设置在盘体（2）上，储槽（1）设置为直径相等的圆形，所述的储槽（1）的深度设置为0～650um，所述的储槽（1）的底部形式设置为平底型、斜底型、凹型、凸型、阶梯型中的一种或二种以上的混合形式，其底部高度差设置为0.001～0.5um，所述的储槽（1）数量设置为54个，储槽（1）的布置形式沿正六边形布置，以盘体（2）的中心为六边形同心依次向外设置4层，每层储槽（1）设置个数从内向外依次分别为：6、12、18、18。
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