[实用新型]一种气动阀门控制装置有效
| 申请号： | 201320535049.8 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN203421265U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 董新杰;王怀锋 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/12 | 分类号： | F16K31/12 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种气动阀门控制装置，包括截止阀门一，截止阀门二，截止阀门三，三通管一，三通管二和面板；三通管一的三个管接头分别与截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三的一端相连接，截止阀门二的另一端与三通管二的一个管接头相连接，面板上设置有阀门支架，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三通过阀门支架固定在面板上。截止阀门一的另一端上连接有气体管路一，截止阀门三的另一端上连接有气体管路二，三通管二未与截止阀门二连接的两个管接头通过快速接头分别连接有软管管路。所述装置可用于半导体化学品制程的自动化设备中，在遇到自动化设备系统关机或机台断电情况时，通过操作所述装置可以对制程中的产品采取保护措施。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气动 阀门 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种气动阀门控制装置，其特征在于：包括截止阀门一，截止阀门二，截止阀门三，三通管一，三通管二和面板，三通管一的三个管接头分别与截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三的一端相连接，截止阀门二的另一端与三通管二的一个管接头相连接，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三固定在面板上。
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