[实用新型]一种气动阀门控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气动阀门控制装置，用于半导体化学品制程的自动化设备中。

背景技术

当前，在半导体制造涉及化学品的制程中，机台管路的流量都通过气动阀门控制，当系统关机或机台断电时，所有的气动阀门都将自动关闭，所有的产品停止制程并将滞留在没有化学循环的化学品槽中，这将对产品产生严重影响。如图1所示，附图1为现有技术机台端的化学品槽正常情况下的制程简图，在正常情况下，通过气动阀门的启闭，控制管路流量，实现化学品槽207的正常制程，包括：化学品供应，化学品流量循环，化学品排放；所述气动阀门包括：化学品供应管道气动阀门208，排酸/循环管道气动阀门一201和排酸管道气动阀门二202。当遇到系统关机或机台断电情况，所有的气动阀门都将自动关闭，所有的产品204停止制程并将滞留在没有循环的化学品槽207里。

因此，对于涉及化学品制程的产品，如何解决在系统关机或机台断电的情况下，实现对于涉及化学品制程的产品的安全处理就很有必要了。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种气动阀门控制装置，可以在自动化设备遇到系统关机或机台断电时，通过本实用新型气动阀门控制装置对气动阀门的操作，能够对制程中的产品采取保护措施。

为解决上述问题，本实用新型的技术方案是：一种气动阀门控制装置，包括截止阀门一，截止阀门二，截止阀门三，三通管一，三通管二和面板；三通管一的三个管接头分别与截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三的一端相连接，截止阀门二的另一端与三通管二的一个管接头相连接，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三固定在面板上。

优选的，面板上设置有阀门支架，截止阀门一，截止阀门二和截止阀门三通过阀门支架固定在面板上。

优选的，截止阀门一的另一端上连接有气体管路一，截止阀门三的另一端上连接有气体管路二。

优选的，气体管路一和气体管路二，均由不锈钢管路，快速接头和软管管路组成，不锈钢管路与软管管路通过快速接头连接。

优选的，截止阀门一与不锈钢管路通过焊接方式连接，截止阀门三与不锈钢管路通过焊接方式连接。

优选的，三通管二未与截止阀门二连接的两个管接头通过快速接头分别连接有软管管路。

优选的，三通管一和三通管二均由不锈钢管路焊接形成。

优选的，阀门支架通过焊接方式设置在面板上，阀门支架采用防酸不锈钢材质。

优选的，面板上设置有3个螺丝孔。

通过固定面板上的3个螺丝孔，可以将气动阀门控制装置固定在机台上。

本发明的有益效果是，当系统关机或机台断电时，通过对气动阀门控制装置的操作，对制程中的产品采取保护措施，实现对化学品槽进行排酸补水（去离子水，可用于清洗产品），达到改善化学品槽中产品的存在环境，延长产品在化学品槽的安全时间，使工程师有充分的时间对产品进行安全的处理。

附图说明

图1为现有技术机台端的化学品槽正常情况下的制程简图；

图2为本实用新型气动阀门控制装置的结构示意图；

图3为装备本实用新型气动阀门控制装置的机台端化学品槽排酸补水的简图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

101、截止阀门一，102、截止阀门二，103、截止阀门三，104、三通管一，105、三通管二，106、气体管路一，107、气体管路二，108、不锈钢管路，109、快速接头，110、软管管路，111、阀门支架，112、螺丝孔，113、面板，201、排酸/循环管道气动阀门一，202、排酸管道气动阀门二，203、供水管道气动阀门，204、产品，205、内槽，206、外槽，207、化学品槽，208、化学品供应管道气动阀门。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的结构特征和工作原理进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

图2为本实用新型气动阀门控制装置的结构示意图，如图2所示，所述气动阀门控制装置，包括截止阀门一101，截止阀门二102，截止阀门三103，三通管一104，三通管二105和面板113；三通管一104的三个管接头分别与截止阀门一101，截止阀门二102和截止阀门三103的一端相连接，截止阀门二102未与三通管一104相连接的另一端与三通管二105的一个管接头相连接，面板113上设置有阀门支架111，截止阀门一101，截止阀门二102和截止阀门三103通过阀门支架111固定在面板113上。