[实用新型]一种用于直拉单晶炉的分体加热器有效
申请号: | 201320531088.0 | 申请日: | 2013-08-28 |
公开(公告)号: | CN203462162U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 闫广宁;岳瑞存;陈宏彬;王怡然;李永峰 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于直拉单晶炉的分体加热器,包括整体呈圆筒形的加热筒,加热筒的底部圆周上设有两个相对设置的L形的电极脚,电极脚包括横向的固定板和纵向的固定挂耳,在电极脚的固定板上设有固定螺孔,其特征在于:所述的加热筒和电极脚为分体结构,所述的加热筒的底部圆周上设有两个相对的电极脚挂耳,所述的电极脚的固定挂耳设有阶梯形的卡槽,固定挂耳的卡槽与电极脚挂耳相配合并通过螺栓固定。本实用新型的有益效果是:由于加热筒和电极脚为分体结构,在发生因粘硅或者电极脚拉弧不能继续使用的情况下,可通过直接更换电极脚完成设备的维修更换,从而大大增强了加热器主体部分的抗风险能力,进而降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 直拉单晶炉 分体 加热器 | ||
【主权项】:
一种用于直拉单晶炉的分体加热器,包括整体呈圆筒形的加热筒(1),加热筒(1)的底部圆周上设有两个相对设置的L形的电极脚(2),电极脚(2)包括横向的固定板(3)和纵向的固定挂耳(4),在电极脚(2)的固定板(3)上设有固定螺孔,其特征在于:所述的加热筒(1)和电极脚(2)为分体结构,所述的加热筒(1)的底部圆周上设有两个相对的电极脚挂耳(5),所述的电极脚(2)的固定挂耳(4)设有阶梯形的卡槽,固定挂耳(4)的卡槽与电极脚挂耳(5)相配合并通过螺栓固定。
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