[实用新型]一种用于直拉单晶炉的分体加热器有效
申请号: | 201320531088.0 | 申请日: | 2013-08-28 |
公开(公告)号: | CN203462162U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 闫广宁;岳瑞存;陈宏彬;王怡然;李永峰 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 直拉单晶炉 分体 加热器 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉的加热器,特别是一种用于直拉单晶炉的分体加热器。
背景技术
目前,现有的加热器由于加热筒和电极脚为一体结构,所以会出现非正常老化报废的情况,如图1所示,而报废的原因有以下两种:一种是在加热的情况下,尤其是融化原材料——多晶硅时,原材料有时会滴落下来落到加热器的电极脚上,造成电极脚与紧固螺丝粘连,不可分开,从而造成了加热器的报废;另一种是加热器电极脚可能会与电极柱因接触不好造成拉弧,损伤接触面,从而影响正常使用,造成加热器的报废。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种克服现有技术的不足,能够降低生产成本且维修更换操作简便的用于直拉单晶炉的分体加热器。
为了完成上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种用于直拉单晶炉的分体加热器,包括整体呈圆筒形的加热筒,加热筒的底部圆周上设有两个相对设置的L形的电极脚,电极脚包括横向的固定板和纵向的固定挂耳,在电极脚的固定板上设有固定螺孔,所述的加热筒和电极脚为分体结构,所述的加热筒的底部圆周上设有两个相对的电极脚挂耳,所述的电极脚的固定挂耳设有阶梯形的卡槽,固定挂耳的卡槽与电极脚挂耳相配合并通过螺栓固定。
所述的电极脚挂耳的侧壁厚度小于加热筒的侧壁厚度。
所述的电极脚的固定挂耳的侧壁厚度小于加热筒的侧壁厚度。
所述的加热筒的侧壁厚度等于电极脚挂耳的侧壁厚度加电极脚的固定挂耳的侧壁厚度。
所述的固定挂耳与电极脚挂耳的之间的固定螺栓为石墨螺栓。
所述的固定挂耳与电极脚挂耳的接触面之间设有石墨纸。
本实用新型的有益效果是:由于加热筒和电极脚为分体结构,在发生因粘硅或者电极脚拉弧不能继续使用的情况下,可通过直接更换电极脚完成设备的维修更换,从而大大增强了加热器主体部分的抗风险能力,进而降低了生产成本。
附图说明
图1是现有技术使用的加热器的结构示意图。
图2是本实用新型的爆炸图。
图3是本实用新型的装配示意图。
图中,1、加热筒,2、电极脚,3、固定板,4、固定挂耳,5、电极脚挂耳。
具体实施方式
本实用新型为一种用于直拉单晶炉的分体加热器,由于加热筒和电极脚为分体结构,在发生因粘硅或者电极脚拉弧不能继续使用的情况下,可通过直接更换电极脚完成设备的维修更换,从而大大增强了加热器主体部分的抗风险能力,进而降低了生产成本。
下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
具体实施例,如图2、图3所示,一种用于直拉单晶炉的分体加热器,包括整体呈圆筒形的加热筒1,加热筒1的底部圆周上设有两个相对设置的L形的电极脚2,加热筒1和电极脚2为分体结构,电极脚2包括横向的固定板3和纵向的固定挂耳4,在电极脚2的固定板2上设有固定螺孔,电极脚2的固定挂耳4设有阶梯形的卡槽,所述的加热筒1的底部圆周上设有两个相对的电极脚挂耳5,固定挂耳4的卡槽与电极脚挂耳5相配合并通过螺栓固定。
将电极脚挂耳5的侧壁厚度设置为小于加热筒1的侧壁厚度,将电极脚2的固定挂耳4的侧壁厚度设置为小于加热筒1的侧壁厚度,并将加热筒1的侧壁厚度设置为等于电极脚挂耳5的侧壁厚度加电极脚2的固定挂耳4的侧壁厚度,这样在原材料的加热时,可尽量避免出现原材料会滴落下来落到电极脚2上的风险。
为了使固定挂耳4与电极脚挂耳5的接触面之间能够充分接触,在固定挂耳4与电极脚挂耳5之间设有石墨纸,并将固定挂耳4与电极脚挂耳5的之间的固定螺栓设为石墨螺栓。
由于加热筒和电极脚为分体结构,在发生因粘硅或者电极脚拉弧不能继续使用的情况下,可通过直接更换电极脚完成设备的维修更换,从而大大增强了加热器主体部分的抗风险能力,进而降低了生产成本。
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