[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种多晶硅铸锭炉。一种多晶硅铸锭炉，炉体外壁上端安装有顶部进气口，下端安装有出气口，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕有加热器和保温套筒，石英坩埚底部依次安装有热交换块和隔热板，保温套筒下部沿环形方向上等距开有侧部通气口。本实用新型优点：在多晶硅铸锭的长晶阶段可以得到较为理想的固液界面；在长晶、退火及降温阶段由于侧部通气口的存在，使得温度分布更为均匀，通过侧部通气口来选择降温点以及有效地控制降温速率，从而提高了铸锭质量，减少位错；同时采用该装置及方法，能够使生产周期降低15%，提高了生产效率，有利于工业生产。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，炉体（2）外壁上端安装有顶部进气口（1），下端安装有出气口（9），炉体（2）内放置有石英坩埚（5），石英坩埚（5）外壁由内向外依次环绕有加热器（4）和保温套筒（3），石英坩埚（5）底部依次安装有热交换块（6）和隔热板（7），其特征在于保温套筒（3）下部沿环形方向上等距开有侧部通气口（8）。