[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201320507209.8 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN203440497U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 王峰;李鹏廷;熊华江;谭毅;刘东雷;安广野;姜大川 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅铸锭炉，炉体（2）外壁上端安装有顶部进气口（1），下端安装有出气口（9），炉体（2）内放置有石英坩埚（5），石英坩埚（5）外壁由内向外依次环绕有加热器（4）和保温套筒（3），石英坩埚（5）底部依次安装有热交换块（6）和隔热板（7），其特征在于保温套筒（3）下部沿环形方向上等距开有侧部通气口（8）。
2.根据权利要求1所述的所述的一种多晶硅铸锭炉，其特征在于保温套筒（3）下部均匀设置有3～10组沿环形方向上等距的侧部通气口（8）。
3.根据权利要求1或2所述的所述的一种多晶硅铸锭炉，其特征在于每组沿环形方向上等距开有2～10个侧部通气口（8），每个侧部通气口（8）的直径为30～50mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司，未经青岛隆盛晶硅科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320507209.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双电双气四轴联动控制系统
- 下一篇：结构改良的氧化用挂具
