[实用新型]高速轨道式研磨装置有效
| 申请号： | 201320497770.2 | 申请日： | 2013-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN203509893U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 山佳卫 | 申请（专利权）人： | 山佳卫 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/20;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 高玉滨 |
| 地址： | 上海市青浦区育*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开高速轨道式研磨装置，包括定子、转子、转台、摆子、吸盘，所述定子固定于机架两侧，所述定子中心设置有中心轴，所述定子通过第一电磁轴承、第二电磁轴承与定子内侧的转子构成一对磁悬浮系统，所述摆子通过第三电磁轴承、第四电磁轴承与转子构成另一对磁悬浮系统，所述转子、摆子在定子带动下一起在垂直方向上下移动，所述摆子下端安装有握持晶圆的吸盘，所述转台设置于吸盘下方，所述转台上粘贴有研磨垫，所述转台由电动机带动旋转。具有高平坦度，低划伤的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 高速 轨道 研磨 装置 | ||
【主权项】：
高速轨道式研磨装置，包括定子、转子、转台、摆子、吸盘，其特征在于：所述定子固定于机架两侧，所述定子中心设置有中心轴，所述定子通过第一电磁轴承、第二电磁轴承与定子内侧的转子构成一对磁悬浮系统，所述摆子通过第三电磁轴承、第四电磁轴承与转子构成另一对磁悬浮系统，所述转子、摆子在定子带动下一起在垂直方向上下移动，所述摆子下端安装有握持晶圆的吸盘，所述转台设置于吸盘下方，所述转台上粘贴有研磨垫，所述转台由电动机带动旋转。
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