[实用新型]高速轨道式研磨装置有效
| 申请号： | 201320497770.2 | 申请日： | 2013-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN203509893U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 山佳卫 | 申请（专利权）人： | 山佳卫 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/20;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 高玉滨 |
| 地址： | 上海市青浦区育*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高速 轨道 研磨 装置 | ||
【权利要求书】：
1.高速轨道式研磨装置，包括定子、转子、转台、摆子、吸盘，其特征在于：所述定子固定于机架两侧，所述定子中心设置有中心轴，所述定子通过第一电磁轴承、第二电磁轴承与定子内侧的转子构成一对磁悬浮系统，所述摆子通过第三电磁轴承、第四电磁轴承与转子构成另一对磁悬浮系统，所述转子、摆子在定子带动下一起在垂直方向上下移动，所述摆子下端安装有握持晶圆的吸盘，所述转台设置于吸盘下方，所述转台上粘贴有研磨垫，所述转台由电动机带动旋转。
2.根据权利要求1所述的高速轨道式研磨装置,其特征在于, 所述定子和转子之间安装有两个水平分布的第一电磁轴承和一个上下分布的第二电磁轴承。
3.根据权利要求1所述的高速轨道式研磨装置,其特征在于,所述转子和摆子之间安装有两个水平分布的第三电磁轴承和一个上下分布的第四电磁轴承。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山佳卫，未经山佳卫许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320497770.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种液压升降平台安全装置
- 下一篇：剪刀式夹紧机构
