[实用新型]一种多功能二次电子发射系数分析测试装置有效
| 申请号： | 201320441097.0 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN203337576U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王彬;熊良银;刘实 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种多功能二次电子发射系数分析测试装置，包括真空系统、电子源系统、靶台测试系统，其特征在于：所述真空系统包括真空室、真空泵；电子源系统包括电子枪、脉冲发生器，可进行直流和脉冲两种条件下测试材料二次电子发射系数；靶台测试系统包括可伸缩旋转靶台、电流放大器、示波器，微弱的一次电流Ip和通过样品电流It,经电流放大器放大转换之后由示波器显示电压值。该装置可以快速、准确、简便的从入射角度、电子束流大小、束斑直径等方面分析测试材料的二次电子发射系数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 二次电子 发射 系数 分析 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种多功能二次电子发射系数分析测试装置，包括真空系统、电子源系统、靶台测试系统，其特征在于：所述真空系统包括真空室、真空泵；电子源系统包括电子枪、脉冲发生器；靶台测试系统包括可伸缩旋转靶台、电流放大器、示波器；其中，真空泵与真空室相连，安装于真空室室壁法兰上的电子枪与设于真空室外的脉冲发生器相连，可伸缩旋转靶台设于真空室内，并与位于真空室外连有示波器的电流放大器相连。
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