[实用新型]一种多功能二次电子发射系数分析测试装置

权利要求书

1.一种多功能二次电子发射系数分析测试装置，包括真空系统、电子源系统、靶台测试系统，其特征在于：所述真空系统包括真空室、真空泵；电子源系统包括电子枪、脉冲发生器；靶台测试系统包括可伸缩旋转靶台、电流放大器、示波器；

其中，真空泵与真空室相连，安装于真空室室壁法兰上的电子枪与设于真空室外的脉冲发生器相连，可伸缩旋转靶台设于真空室内，并与位于真空室外连有示波器的电流放大器相连。

2.按照权利要求1所述多功能二次电子发射系数分析测试装置，其特征在于：可伸缩旋转靶台由伸缩杆、旋转轴、刻度盘和靶台构成，靶台中心正对电子枪电子束出射口，伸缩杆是在真空室外的推拉手柄通过磁力耦合杆将伸缩动作传递到靶台上；旋转轴是在真空室外的电机通过磁力耦合杆将旋转动作传递到真空室内并通过齿轮机构连接到靶台，以控制靶台转动，齿轮机构上装配有刻度盘。

3.按照权利要求1所述多功能二次电子发射系数分析测试装置，其特征在于：所述真空泵由机械泵和分子泵串联而成。

4.按照权利要求1所述多功能二次电子发射系数分析测试装置，其特征在于：所述真空室为不锈钢球形真空室，该不锈钢球形真空室直径450mm。

5.按照权利要求4所述多功能二次电子发射系数分析测试装置，其特征在于：设于球形真空室室壁上的法兰其轴线通过球形真空室的球心。

6.按照权利要求1所述多功能二次电子发射系数分析测试装置，其特征在于：所述电子枪其电子束斑直径1-100mm独立可调，加速电压0-5000V独立可调，电子束流1nA-100uA。

7.按照权利要求1所述多功能二次电子发射系数分析测试装置，其特征在于：所述脉冲发生器产生脉冲方波，脉宽100ns-10us独立可调的、频率1-5000Hz独立可调。

8.按照权利要求1所述多功能二次电子发射系数分析测试装置，其特征在于：在真空室室壁上设置1～10个窗口与备用法兰。