[实用新型]太阳能集热管快速镀膜设备有效
| 申请号： | 201320412299.2 | 申请日： | 2013-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN203360560U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 焦青太;尧克光;王国伟 | 申请（专利权）人： | 日出东方太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 毕东峰 |
| 地址： | 222000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种太阳能集热管快速镀膜设备，包括真空腔室、与真空腔室相连的抽真空机组和设置在真空腔室内的工件转架机构，在真空腔室的两侧分别设有气流反应溅射装置，气流反应溅射装置设有与真空腔室连通的溅射腔室，溅射腔室内设有两个相对、竖向设置的靶材，靶材的背面设有冷却水套，两个靶材之间设有与真空腔室连通的工作气流通道，工作气流通道的进气端设有与靶材平行的工作气体分布管，工作气体分布管上设有若干朝向工作气流通道的喷气孔，在工作气流通道的出气端设有介质气管，介质气管的上端与真空腔室外的介质气体进气管相接。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 热管 快速 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种太阳能集热管快速镀膜设备，包括真空腔室、与真空腔室相连的抽真空机组和设置在真空腔室内的工件转架机构，其特征在于：在真空腔室的两侧分别设有气流反应溅射装置，气流反应溅射装置设有与真空腔室连通的溅射腔室，溅射腔室内设有两个相对、竖向设置的靶材，靶材的背面设有冷却水套，两个靶材之间设有与真空腔室连通的工作气流通道，工作气流通道的进气端设有与靶材平行的工作气体分布管，工作气体分布管上设有若干朝向工作气流通道的喷气孔，在工作气流通道的出气端设有介质气管，介质气管的上端与真空腔室外的介质气体进气管相接。
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