[实用新型]太阳能集热管快速镀膜设备

权利要求书

1.一种太阳能集热管快速镀膜设备，包括真空腔室、与真空腔室相连的抽真空机组和设置在真空腔室内的工件转架机构，其特征在于：在真空腔室的两侧分别设有气流反应溅射装置，气流反应溅射装置设有与真空腔室连通的溅射腔室，溅射腔室内设有两个相对、竖向设置的靶材，靶材的背面设有冷却水套，两个靶材之间设有与真空腔室连通的工作气流通道，工作气流通道的进气端设有与靶材平行的工作气体分布管，工作气体分布管上设有若干朝向工作气流通道的喷气孔，在工作气流通道的出气端设有介质气管，介质气管的上端与真空腔室外的介质气体进气管相接。

2.根据权利要求1所述的太阳能集热管快速镀膜设备，其特征在于：所述的冷却水套上设有伸出溅射腔室的进水管和出水管，冷却水套、进水管和出水管上分别设有绝缘护套。

3.根据权利要求1所述的太阳能集热管快速镀膜设备，其特征在于：所述的介质气管设有两个，对称设置在工作气流通道的两侧。

4.根据权利要求1所述的太阳能集热管快速镀膜设备，其特征在于：所述的抽真空机组包括机械泵组，机械泵组通过主抽气管与真空腔室连通。

5.根据权利要求4所述的太阳能集热管快速镀膜设备，其特征在于：所述的主抽气管上设有罗茨泵，罗茨泵的抽气口上装有高真空阀，在罗茨泵与真空腔室之间的主抽气管上设有光栅阀。

6.根据权利要求1所述的太阳能集热管快速镀膜设备，其特征在于：真空腔室的前部铰接有前舱门，前舱门与真空腔室相接处设有密封条，前舱门上设有观察窗。

7.根据权利要求1所述的太阳能集热管快速镀膜设备，其特征在于：工件转架机构包括固定在真空腔室底部的圆形导槽盘，圆形导槽盘与真空腔室底部之间设有绝缘垫块，圆形导槽盘的上方设有圆转盘，圆转盘的周边上均匀插装有若干装真空集热管内管的轴形支架，轴形支架通过轴承与圆转盘相连，圆形导槽盘的边缘上设有固定齿，圆转盘下方的轴形支架上设有与固定齿啮合的行星轮。

8.根据权利要求7所述的太阳能集热管快速镀膜设备，其特征在于：圆形导槽盘与圆转盘之间设有滚轴承，圆转盘的中心轴与设在真空腔室下方的电机相接。