[实用新型]一种硅基GaN外延生长结构有效
申请号: | 201320411968.4 | 申请日: | 2013-07-11 |
公开(公告)号: | CN203367337U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 罗锦贵 | 申请(专利权)人: | 四川海金汇光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/14 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 冉鹏程 |
地址: | 629300*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅基GaN外延生长结构,包括硅衬底、缓冲层、第一N型GaN层、第二N型GaN层、多量子阱层、第一P型GaN层和第二P型GaN层,所述缓冲层覆盖在硅衬底上,第一N型GaN层覆盖在缓冲层上,第二N型GaN层覆盖在第一N型GaN层上,多量子阱层覆盖在第二N型GaN层上,第一P型GaN层覆盖在多量子阱层上,第二P型GaN层覆盖在第一P型GaN层上。本实用新型的结构具有高可靠性、高亮度的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 gan 外延 生长 结构 | ||
【主权项】:
一种硅基GaN外延生长结构,其特征在于:包括硅衬底(7)、缓冲层(6)、第一N型GaN层(5)、第二N型GaN层(4)、多量子阱层(3)、第一P型GaN层(2)和第二P型GaN层(1),所述缓冲层(6)覆盖在硅衬底(7)上,第一N型GaN层(5)覆盖在缓冲层(6)上,第二N型GaN层(4)覆盖在第一N型GaN层(5)上,多量子阱层(3)覆盖在第二N型GaN层(4)上,第一P型GaN层(2)覆盖在多量子阱层(3)上,第二P型GaN层(1)覆盖在第一P型GaN层(2)上。
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