[实用新型]一种半导体晶粒分选装置有效
申请号: | 201320338968.6 | 申请日: | 2013-06-08 |
公开(公告)号: | CN203304199U | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 林宗民;马志邦 | 申请(专利权)人: | 天津三安光电有限公司 |
主分类号: | B07C5/00 | 分类号: | B07C5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300384 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种半导体晶粒分选装置,至少包括晶粒供料台、晶粒分Bin台和取料单元,若干个分料盒置于所述晶粒分Bin台之上,黏性蓝膜或白膜披覆于分料盒之上,分Bin后的晶粒固定在黏性蓝膜或白膜之上,分Bin后的晶粒排列方式为圆形或者椭圆形或者椭灯笼形。通过改变Bin的排列方式,增加每个Bin所能容纳的晶粒数目,减少分选过程中换Bin动作,提高分选效率,减少蓝膜或白膜消耗量。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 晶粒 分选 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体晶粒分选装置,至少包括晶粒供料台、晶粒分Bin台和取料单元,若干个分料盒置于所述晶粒分Bin台之上,黏性蓝膜或白膜披覆于分料盒之上,分Bin后的晶粒固定在黏性蓝膜或白膜之上,其特征在于:所述分Bin后的晶粒排列形状为圆形或者椭圆形或者椭灯笼形。
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