[实用新型]一种薄膜压力传感器有效
申请号: | 201320314700.9 | 申请日: | 2013-06-03 |
公开(公告)号: | CN203274980U | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 何迎辉;金忠;陈云锋;王玉明 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22;G01L9/04 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种薄膜压力传感器,主要为一种满足各类卫星需要的重量超轻的并对高量程压力准确测量的薄膜压力传感器,包括外壳、外壳下侧的引压基座和分别置于外壳内的电路支架、弹性膜片、弹性膜片上方的下支架、下支架上方的引线安装板,所述引压基座与弹性膜片为一体式结构,电路支架套装在引线安装板与下支架外侧且引线安装板与下支架通过紧固件连接。本实用新型的引压基座与弹性膜片的一体化结构,提高了产品测量高量程压力时的密封性;传感器主要部件均采用钛合金,减轻了传感器重量;激光调阻技术与温度电阻补偿技术取消传感器外补偿,进一步减轻了传感器重量。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种薄膜压力传感器,包括外壳(5)、外壳下侧的引压基座(1)和分别置于外壳内的电路支架(4)、弹性膜片(2)、弹性膜片(2)上方的下支架(3)、下支架(3)上方的引线安装板(7),其特征是,所述引压基座与弹性膜片(2)为一体式结构;电路支架(4)套装在引线安装板(7)与下支架(3)外侧且引线安装板(7)与下支架(3)通过紧固件连接。
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