[实用新型]一种薄膜压力传感器有效
| 申请号： | 201320314700.9 | 申请日： | 2013-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN203274980U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 何迎辉;金忠;陈云锋;王玉明 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1. 一种薄膜压力传感器，包括外壳（5）、外壳下侧的引压基座（1）和分别置于外壳内的电路支架（4）、弹性膜片（2）、弹性膜片（2）上方的下支架（3）、下支架（3）上方的引线安装板（7），其特征是，所述引压基座与弹性膜片（2）为一体式结构；电路支架（4）套装在引线安装板（7）与下支架（3）外侧且引线安装板（7）与下支架（3）通过紧固件连接。
2.根据权利要求1所述薄膜压力传感器，其特征是，引压基座（1）由钛合金制成。
3.根据权利要求1所述薄膜压力传感器，其特征是，弹性膜片（2）由钛合金制成。
4.根据权利要求1所述薄膜压力传感器，其特征是，下支架（3）由钛合金制成。
5.根据权利要求1所述薄膜压力传感器，其特征是，电路支架（4）由钛合金制成。
6.根据权利要求1所述薄膜压力传感器，其特征是，外壳（5）由钛合金制成。
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