[实用新型]多晶硅铸锭炉热场结构有效
申请号: | 201320301235.5 | 申请日: | 2013-05-28 |
公开(公告)号: | CN203320182U | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 权祥;胡亚兰;王梓明;朱常任;崔新正 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉热场结构,包括隔热笼、置于所述隔热笼内的热交换台、放置在所述热交换台上的坩埚、设置在坩埚四周的石墨护板及承靠在所述石墨护板顶部的石墨盖板,所述石墨护板和所述石墨盖板与所述隔热笼相对的表面均为凹凸结构,所述隔热笼的内壁设成光滑表面。凹凸结构可使高温下反射红外热辐射的方式为漫反射,漫反射表面可增加热吸收,光滑表面对红外热辐射有很好的反射作用,减少了炉内热量的损失,提高了隔热笼的保温能力,进而减少硅锭生产过程中的能耗;同时还可提高炉内热场的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 炉热场 结构 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉热场结构,包括隔热笼、置于所述隔热笼内的热交换台、放置在所述热交换台上的坩埚、设置在坩埚四周的石墨护板及承靠在所述石墨护板顶部的石墨盖板,其特征在于:所述石墨护板和所述石墨盖板与所述隔热笼相对的表面均为凹凸结构,所述隔热笼的内壁设成光滑表面。
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