[实用新型]多晶硅铸锭炉热场结构

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括隔热笼、置于所述隔热笼内的热交换台、放置在所述热交换台上的坩埚、设置在坩埚四周的石墨护板及承靠在所述石墨护板顶部的石墨盖板，其特征在于：所述石墨护板和所述石墨盖板与所述隔热笼相对的表面均为凹凸结构，所述隔热笼的内壁设成光滑表面。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述石墨盖板通过螺栓固定在所述石墨护板顶部。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述隔热笼包括隔热顶板、隔热底板和中间的侧隔热笼，其中所述石墨护板与所述侧隔热笼相对设置，所述石墨护板与侧隔热笼相对的表面为凹凸结构，所述侧隔热笼的内壁对应设成光滑表面，其中所述石墨盖板与所述隔热顶板相对设置，所述石墨盖板与隔热顶板相对的表面为凹凸结构，所述隔热顶板的内表面对应设成光滑表面。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述隔热笼的内壁上设置有具有光滑表面的石墨纸。

5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述石墨纸粘贴或通过石墨螺栓固定在所述隔热笼的内壁上。

6.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述凹凸结构呈波形。