[实用新型]一种新式高效玻璃薄化设备

摘要

本实用新型公开了一种新式高效玻璃薄化设备，其蚀刻箱体的内部设置蚀刻腔室、缓冲腔室以及搭肩，缓冲腔室的底部配装至少进液管，搭肩搭设上导流板和下导流板，上导流板的上导流孔的直径较下导流板的下导流孔的直径小，缓冲腔室内于下导流板的下方装设供气管道，供气管道包括集流管、进气管以及分流管，集流管和分流管分别开设透气孔，蚀刻箱体的上端部盖装蚀刻箱盖，蚀刻箱盖配装排气管。通过上述结构设计，本实用新型一方面能够有效地避免涡流对玻璃基板蚀刻质量的影响，进而能够有效地提高玻璃基板的蚀刻质量；另一方面能够使得空气均匀地分布于蚀刻腔室内，即能够加快玻璃基板蚀刻薄化速度并提高蚀刻效率。

主权项

一种新式高效玻璃薄化设备，其特征在于：包括蚀刻箱体（1），蚀刻箱体（1）的内部成型有蚀刻腔室（11），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）的下方成型有缓冲腔室（12），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间设置有搭肩（13），缓冲腔室（12）的底部配装有至少两条与循环泵体的出液口连接且往缓冲腔室（12）内供给蚀刻剂的进液管（2），蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间装设有上下层叠且间隔布置的上导流板（3）和下导流板（4），上导流板（3）位于下导流板（4）的上方，下导流板（4）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的下导流孔（41），上导流板（3）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的上导流孔（31），上导流孔（31）和下导流孔（41）分别为圆形孔，上导流孔（31）的直径较下导流孔（41）的直径小；缓冲腔室（12）内于下导流板（4）的下方装设有往蚀刻腔室（11）内供给气体的供气管道（5），供气管道（5）包括有两条平行且间隔布置的集流管（51），各集流管（51）分别配装有与外部气源连通的进气管（52），两条集流管（51）之间装设有至少两条平行且间隔布置的分流管（53），分流管（53）的两端部分别与相应侧的集流管（51）连接，各集流管（51）和各分流管（53）分别开设有呈均匀间隔布置且朝上开口的透气孔（54）；蚀刻箱体（1）的上端部于蚀刻腔室（11）的上方盖装有蚀刻箱盖（6），蚀刻箱盖（6）配装有连通蚀刻腔室（11）的排气管（7）。