[实用新型]一种新式高效玻璃薄化设备

权利要求书

1.一种新式高效玻璃薄化设备，其特征在于：包括蚀刻箱体（1），蚀刻箱体（1）的内部成型有蚀刻腔室（11），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）的下方成型有缓冲腔室（12），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间设置有搭肩（13），缓冲腔室（12）的底部配装有至少两条与循环泵体的出液口连接且往缓冲腔室（12）内供给蚀刻剂的进液管（2），蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间装设有上下层叠且间隔布置的上导流板（3）和下导流板（4），上导流板（3）位于下导流板（4）的上方，下导流板（4）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的下导流孔（41），上导流板（3）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的上导流孔（31），上导流孔（31）和下导流孔（41）分别为圆形孔，上导流孔（31）的直径较下导流孔（41）的直径小；缓冲腔室（12）内于下导流板（4）的下方装设有往蚀刻腔室（11）内供给气体的供气管道（5），供气管道（5）包括有两条平行且间隔布置的集流管（51），各集流管（51）分别配装有与外部气源连通的进气管（52），两条集流管（51）之间装设有至少两条平行且间隔布置的分流管（53），分流管（53）的两端部分别与相应侧的集流管（51）连接，各集流管（51）和各分流管（53）分别开设有呈均匀间隔布置且朝上开口的透气孔（54）；蚀刻箱体（1）的上端部于蚀刻腔室（11）的上方盖装有蚀刻箱盖（6），蚀刻箱盖（6）配装有连通蚀刻腔室（11）的排气管（7）。

2.根据权利要求1所述的一种新式高效玻璃薄化设备，其特征在于：所述蚀刻腔室（11）的内部于所述上导流板（3）的上方装设有固定支撑架（8），固定支撑架（8）包括有水平横向布置的固定支撑横杆（81），固定支撑横杆（81）开设有沿长度方向呈均匀间隔布置的卡持槽（811）。

3.根据权利要求2所述的一种新式高效玻璃薄化设备，其特征在于：所述蚀刻箱体（1）的上端部配装有与所述蚀刻腔室（11）连通的溢流管（9）。