[实用新型]一种真空分子泵叶轮有效

专利信息
申请号: 201320240952.1 申请日: 2013-05-07
公开(公告)号: CN203214351U 公开(公告)日: 2013-09-25
发明(设计)人: 洪申平;俞天野;沙宏磊;张亮;项海铭 申请(专利权)人: 天津飞旋科技研发有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D29/32
代理公司: 浙江英普律师事务所 33238 代理人: 陈小良
地址: 300450 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型涉及一种真空分子泵叶轮,用于真空分子泵设备中。该真空分子泵叶轮,由定子、动叶片和转子组成,所述定子固定设置在中间,所述转子套在定子上,所述动叶片设置在转子上,其结构特点是:所述的转子分为转子牵引级和转子涡轮级两部分,动叶片设置在转子涡轮级上,所述动叶片按照排列位置依次分为抽气动叶片、过渡动叶片和压缩动叶片。本实用新型具有在保证叶轮强度的前提下大幅度减轻了其重量和转动惯量,便于实现很高的尺寸精度和回转精度,并同时兼顾分子泵的抽速和压缩比的优点。
搜索关键词: 一种 真空 分子 叶轮
【主权项】:
一种真空分子泵叶轮,由定子、动叶片和转子组成,所述定子固定设置在中间,所述转子套在定子上,所述动叶片设置在转子上,其特征是:所述的转子分为转子牵引级和转子涡轮级两部分,动叶片设置在转子涡轮级上,所述动叶片按照排列位置依次分为抽气动叶片、过渡动叶片和压缩动叶片。
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