[实用新型]一种真空分子泵叶轮

权利要求书

1.一种真空分子泵叶轮，由定子、动叶片和转子组成，所述定子固定设置在中间，所述转子套在定子上，所述动叶片设置在转子上，其特征是：所述的转子分为转子牵引级和转子涡轮级两部分，动叶片设置在转子涡轮级上，所述动叶片按照排列位置依次分为抽气动叶片、过渡动叶片和压缩动叶片。

2.根据权利要求1所述的真空分子泵叶轮，其特征是：所述的抽气动叶片为2至3层，所述抽气动叶片每层叶片的倾角α的取值范围为40°≤α≤50°，由上至下逐渐减小或不变；叶片的节弦比a/b的取值范围为1.2≤a/b≤1.5，由上至下逐渐减小或不变；每层叶片的层高h取值范围为，8mm≤h≤15mm。

3.根据权利要求1所述的真空分子泵叶轮，其特征是：所述的过渡动叶片为2至4层，所述过渡动叶片每层叶片的倾角α的取值范围为25°≤α≤40°，由上至下逐渐减小或不变；叶片的节弦比a/b的取值范围为0.8≤a/b≤1.2，由上至下逐渐减小或不变；叶片层高h的取值范围为6mm≤h≤8mm，由上至下逐渐减小或不变。

4.根据权利要求1所述的真空分子泵叶轮，其特征是：所述的压缩动叶片为2至4层，所述压缩动叶片每层叶片的倾角α的取值范围为15°≤α≤25°，由上至下逐渐减小或不变；叶片的节弦比a/b的取值范围为0.5≤a/b≤0.8，由上至下逐渐减小或不变；叶片层高h的取值范围为3mm≤h≤6mm，由上至下逐渐减小或不变。

5.根据权利要求1所述的真空分子泵叶轮，其特征是：所述的转子牵引级的外径与转子牵引级定子内径之间的间隙n取值范围为0.5mm≤n≤1.5mm，转子牵引级部分高度H的取值与涡轮级总高度相当。