[实用新型]MEMS麦克风

摘要

本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括基底、背极板、振膜、绝缘层、支撑层和电极。背极板包括第一背极板和第二背极板；绝缘层包括第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层；支撑层包括第一支撑层和第二支撑层。第一绝缘层设置在基底和第一背极板之间，第二绝缘层设置在第一背极板的上方；第一支撑层设置在第二绝缘层和振膜之间，第二支撑层设置在振膜和第三绝缘层之间；第二背极板设置在第三绝缘层上方；用于MEMS麦克风内部电路与外部电路连通的电极分别在第一背极板和第二背极板上。本实用新型提供的MEMS麦克风，能够解决麦克风线性度低、谐波失真值低和短路的问题。

主权项

一种MEMS麦克风，包括基底、背极板、振膜、绝缘层、支撑层和电极；其特征在于，所述背极板包括第一背极板和第二背极板；所述绝缘层包括第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层；所述支撑层包括第一支撑层和第二支撑层；其中，所述第一绝缘层设置在所述基底和所述第一背极板之间，所述第二绝缘层设置在所述第一背极板的上方；所述第一支撑层设置在所述第二绝缘层和所述振膜之间，所述第二支撑层设置在所述振膜和所述第三绝缘层之间；所述第二背极板设置在所述第三绝缘层上方；用于MEMS麦克风内部电路与外部电路连通的所述电极分别在所述第一背极板和所述第二背极板上。