[实用新型]多晶硅还原炉尾气在线检测样品处理装置

摘要

本实用新型涉及多晶硅还原炉尾气在线检测样品处理装置。包括样品前处理装置、样品预处理装置。样品前处理装置设置冷却水换热装置、温控阀及箱体加热盘管，能够保证将样品冷却到测试所需温度但又不会太低而产生相变，有效的保护了后续仪表部件，设置的并行过滤器对样品进行一级过滤，反吹氮气能够对过滤器进行吹扫置换，采用并行设置保证系统不会因为一级过滤器堵塞而停止运行；样品预处理装置包括氮气吹扫、样品加热减压及过滤、快速回路、互为备用的多流路切换、双进样、样品排放、气液标定以及箱体蒸汽加热，互为备用的多流路切换以及双进样设计，将色谱作用最大化，大大缩短了样品的检测间隔，又互为备用。色谱进样管路自动氮气吹扫，对色谱进样管路进行吹扫，大大降低了进样阀的损耗，有效的降低了维护成本。

主权项

多晶硅还原炉尾气在线检测样品处理装置，它包括样品前处理装置(1)和样品预处理装置(2)构成；其特征在于：样品前处理装置：包括样品冷却部分、限温阀(13)、前级过滤、氮气吹扫、箱体加热盘管(10)构成，样品冷却部分包括盘管(9)和微型换热器(11)，前级过滤包括并行过滤器(18、19)和三通球阀(14、15、16、17)，过滤器和三通球阀公共端(C)通过1/4″管线连接，氮气吹扫包括两通球阀(3、5、6)和针阀(21)，两通球阀(5)与三通球阀(14、16)非公共端通过三通连接，两通球阀(6)与三通球阀(15、17)非公共端通过三通连接，限温阀(13)与三通球阀(14、16)另一非公共通过三通连接；样品预处理装置：包括样品加热减压阀(E1～E4)、二级三通过滤器(F1～F4)、快速回路、流路切换、双进样通道、氮气吹扫、标气标液标定、仪表气系统，加热减压阀(E1～E4)与两通球阀(A13～A16)并联，快速回路包括针阀(C1～C4)、玻璃管浮子流量计(L1～L4)、止回阀(Z1～Z4)，流路切换包括三通球阀(D1～D4)和流路切换阀阀组(X和Y)，三通球阀(D1～D4)公共端(C)与对应的三通过滤器(F1～F4)一个出口连接，两个非公共段端中的一端与流路切换阀阀组(X和Y)相应流路入口连接，另一个非公共端(H1～H4)与另一台色谱对应的流路切换阀相应的流路连接，流路切换阀入口(H5～H8)与另一台色谱对应的流路切换三通球阀的非公共端连接，双通道进样包括三通球阀(D6、D7)、针阀(C7、C8)、玻璃管浮子流量计(L5、L6)、两通气动球阀(P1、P2)、第三级过滤器(F5、F6)、大气平衡阀(P3、P4)、止回阀(Z6、Z7)，氮气吹扫包括两通球阀(A6)、止回阀(Z5)、两通球阀(A7～A10)，两通球阀(A11、A12)分别与相应流路切换阀连接对色谱管路自动吹扫，两通球阀(A17、A18)分别与标气、标液流路连接，标液流路包括电加热汽化减压阀(E5)、标气标液 三通切换阀(D5)、标定/样品切换阀(D6、D7)，标定/样品切换阀(D6、D7)的公共端(C)与对应的针阀(C7、C8)连接，标定/样品切换阀(D6、D7)的各自的两个非公共端中的一个分别与流路切换阀阀组(X、Y)的出口连接，各自的非公共端另外一端通过三通与标气标液三通切换阀(D5)的公共端(C)连接，标气标液三通切换阀(D5)的两个非公共端分别与标气、标液连接；所述标液流路由电加热汽化减压阀(E5)至色谱入口采用电伴热并保温，电加热汽化减压阀(E5)入口前采用1/8″管线连接；流路切换阀和气动阀的控制：流路1、流路2、流路5以及流路6样品由流路切换阀阀组(X)选择切换后经接口(M)进入色谱一个通道，流路3、流路4、流路7以及流路8样品由流路切换阀阀组(Y)选择切换后经接口(L)进入色谱的另一个通道，流路切换阀驱动气由(S1‑S8)依次接入相对应的流路，气动阀(P1)和(P3)共用一个气动信号，驱动气与管线(S11)连接，气动阀(P2)和(P4)共用一个气动信号，驱动气与管线(S12)连接；两个进样通道自动吹扫氮气阀组中气动阀驱动气分别由(S9)和(S10)接入。