[实用新型]一种多晶硅铸锭炉的热场结构有效

专利信息
申请号: 201320151089.2 申请日: 2013-03-28
公开(公告)号: CN203174222U 公开(公告)日: 2013-09-04
发明(设计)人: 张帅;田义良 申请(专利权)人: 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 何平
地址: 221004 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉的热场结构,包括炉体、置于所述炉体内的隔热笼、置于所述炉体内用以放置坩埚的导热块、固定在所述炉体内支撑所述导热块的支柱,所述隔热笼包括侧隔热笼、隔热顶板和隔热底板,所述导热块位于所述隔热顶板与隔热底板之间,所述导热块与所述隔热底板之间还设置有石墨板。上述多晶硅铸锭炉的热场结构,在导热块的下方设置有石墨板,在长晶阶段,热量从导热块底部辐射至石墨板,由于石墨板的导热率高,石墨板的横向温度梯度很小,热量通过石墨板能够均匀辐射,能最大程度降低铸锭过程中的横向温度梯度,从而减少硅锭中的应力。
搜索关键词: 一种 多晶 铸锭 结构
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉的热场结构,包括炉体、置于所述炉体内的隔热笼、置于所述炉体内用以放置坩埚的导热块、固定在所述炉体内支撑所述导热块的支柱,所述隔热笼包括侧隔热笼、隔热顶板和隔热底板,所述导热块位于所述隔热顶板与隔热底板之间,其特征在于,所述导热块与所述隔热底板之间还设置有石墨板。
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