[实用新型]一种多晶硅铸锭炉的热场结构

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括炉体、置于所述炉体内的隔热笼、置于所述炉体内用以放置坩埚的导热块、固定在所述炉体内支撑所述导热块的支柱，所述隔热笼包括侧隔热笼、隔热顶板和隔热底板，所述导热块位于所述隔热顶板与隔热底板之间，其特征在于，所述导热块与所述隔热底板之间还设置有石墨板。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于，所述石墨板的厚度为0.5～1cm。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于，所述石墨板固定在所述支柱上。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于，所述石墨板的尺寸大于或等于所述导热块的大小。

5.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于，所述石墨板的底部四周设置有保温软毡，所述保温软毡朝向所述侧隔热笼延伸且凸出所述石墨板的边缘。

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于，所述侧隔热笼底部设有向内凸伸的保温条，在长晶阶段，所述保温条和所述保温软毡将所述隔热笼底部封闭。

7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于，所述侧隔热笼固定于所述炉体内，所述隔热底板可升降地安装在所述炉体内。

8.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于，所述炉体内活动连接有提升连杆，所述侧隔热笼悬吊于所述提升连杆并通过所述提升连杆控制升降，所述隔热底板固定在所述支柱上。