[实用新型]一种半导体硅片调向器有效

专利信息
申请号: 201320129332.0 申请日: 2013-03-20
公开(公告)号: CN203179848U 公开(公告)日: 2013-09-04
发明(设计)人: 黄福仁;林勇 申请(专利权)人: 福建省安特半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 代理人: 宋连梅
地址: 351100 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型提供了一种半导体硅片调向器,包括一基座、活动块、支撑杆、橡胶棍、转盘以及手柄;基座中部开设有用于镶嵌所述橡胶辊的第一开口,且基座上表面开设有两凹槽,两凹槽以第一开口为中心对称设置,基座底部四周均设置有一支撑脚;活动块两侧壁均向外垂直延伸有一连接部,该连接部设于基座底面的一滑道内,以利于活动块在第一开口内上下移动,活动块中部开设有第二开口,该第二开口上架设有支撑杆,该支撑杆上套设有橡胶辊,且橡胶辊的位置与第一开口相对应;所述转盘设置于基座的侧壁,且该转盘通过一螺钉与所述支撑杆连接;手柄垂直设置于所述转盘上。本实用新型能快速地调整硅片花篮中参差不齐的硅片,提高生产效率,降低劳动力。
搜索关键词: 一种 半导体 硅片
【主权项】:
一种半导体硅片调向器,其特征在于:包括一基座、活动块、支撑杆、橡胶棍、转盘以及手柄;所述基座中部开设有用于镶嵌所述橡胶辊的第一开口,且基座上表面开设有两凹槽,两凹槽以第一开口为中心对称设置,所述基座底部四周均设置有一支撑脚;所述活动块两侧壁均向外垂直延伸有一连接部,该连接部设于基座底面的一滑道内,以利于活动块在第一开口内上下移动,所述活动块中部开设有第二开口,该第二开口上架设有所述支撑杆,该支撑杆上套设有所述橡胶辊,且橡胶辊的位置与所述第一开口相对应;所述转盘设置于所述基座的侧壁,且该转盘通过一螺钉与所述支撑杆连接;所述手柄垂直设置于所述转盘上。
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