[实用新型]一种用于蓝宝石衬底的接触式厚度测量装置有效
| 申请号： | 201320121791.4 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN203116666U | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 何静生;李显元;徐浩;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/06 | 分类号： | G01B5/06 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 201604*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于蓝宝石衬底的接触式厚度测量装置，其特征在于：①晶片保持件（104）与测量千分表（108）的探针（107）分别由两个固定支架（102）固定；②两个固定支架（102）利用滑轨（110）滑入底座（101），并利用螺丝（103）固定对准；③定位激光源（112）安置在固定支架（102）的滑动槽（115）内，上、下移动并通过托架（114）保持定位激光源（112）之间的相对位置。所述定位激光源至少为2个，当定位激光源为4个时以口字方式连接。本实用新型提供的测量装置具有测量精度高、误差小、重复性高的特点，不仅适用于蓝宝石晶片的测量，也适合于其他晶片的厚度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蓝宝石 衬底 接触 厚度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种用于蓝宝石衬底厚度的接触式测量装置，其特征在于：①晶片保持件（104）与测量千分表（108）的探针（107）分别由两个固定支架（102）固定；②两个固定支架（102）利用滑轨（110）滑入底座（101），并利用螺丝（103）固定对准；③定位激光源（112）安置在固定支架（102）的滑动槽（115）内，上、下移动并通过托架（114）保持定位激光源（112）之间的相对位置。
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