[实用新型]一种用于蓝宝石衬底的接触式厚度测量装置

权利要求书

1.一种用于蓝宝石衬底厚度的接触式测量装置，其特征在于：

①晶片保持件（104）与测量千分表（108）的探针（107）分别由两个固定支架（102）固定；

②两个固定支架（102）利用滑轨（110）滑入底座（101），并利用螺丝（103）固定对准；

③定位激光源（112）安置在固定支架（102）的滑动槽（115）内，上、下移动并通过托架（114）保持定位激光源（112）之间的相对位置。

2.按权利要求1所述的装置，其特征在于所述的定位激光源的数量至少为2个。

3.按权利要求2所述的装置，其特征在于所述的定位激光源为4个。

4.按权利要求3所述的装置，其特征在于4个定位激光源以口字方式连接。

5.按权利要求1所述的测量装置，其特征在于晶片保持件的头部（106）和千分表的探针结构相同，通过上固定件螺丝固定于固定支架上。

6.按权利要求1所述的测量装置，其特征在于所述的定位激光源选择内置电池供电或选择安置于固定支架内的电源供电。

7.按权利要求6所述的测量装置，其特征在于所述的定位激光源大于2个时，利用分线盒分出的导线供电。