[实用新型]一种工业退火炉

摘要

本实用新型涉及一种工业退火炉，包括加热腔室、与加热腔室连接的真空系统和自动化水路，所述加热腔室两侧分别设有前门和后门，加热腔室内设有若干层加热层，所述加热层均设有智能温控表；所述加热腔室通过两条管道连接真空系统，所述两条管道其中一条管道通过预抽阀连接有机械泵，机械泵连接有罗茨泵，所述两条管道中的另一条通过前级阀和水冷挡板连接有扩散泵，所述扩散泵通过主阀连接机械泵；所述自动化水路上设有蜗杆流量检测器和热电偶；所述加热腔室、真空系统和自动化水路连接有人机控制界面和电控箱。本实用新型的有益效果：设计人性化；设备抽气效率高；性价比高；可维护性强；可靠性好；加热更加均匀。

主权项

一种工业退火炉，包括加热腔室（1）、与加热腔室（1）连接的真空系统（2）和自动化水路（3），其特征在于：所述加热腔室（1）两侧分别设有前门（4）和后门（5），加热腔室（1）内设有若干层加热层（6），所述加热层（6）均设有智能温控表；所述加热腔室（1）通过两条管道连接真空系统（2），所述两条管道其中一条管道通过预抽阀（10）连接有机械泵（7），机械泵（7）连接有罗茨泵（8），所述两条管道中的另一条管道通过前级阀（12）和水冷挡板（13）连接有扩散泵（9），所述扩散泵（9）通过主阀（11）连接机械泵（7）；所述自动化水路（3）上设有蜗杆流量检测器（14）和热电偶（15）；所述加热腔室（1）、真空系统（2）和自动化水路（3）连接有人机控制界面（16）和电控箱（17）。