[实用新型]扩散泵加热器有效
| 申请号： | 201320090544.2 | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN203104824U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡新明;周广彦;刘希杰 | 申请（专利权）人： | 山东力诺新材料有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/64 | 分类号： | H05B3/64;F04F9/00 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 李桂存 |
| 地址： | 251600 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散泵加热器，为以电炉丝为加热元件的加热器，所述电炉丝分组地安装在电炉的炉体电炉丝槽内，并配有温度控制单元，输出连接各组电炉丝的通断控制电路；在扩散泵底部设有输入连接所述温度控制单元的温度传感器，以闭环控制扩散泵的加热温度。依据本实用新型能够有效控制加热且所增加成本较少。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 加热器 | ||
【主权项】：
一种扩散泵加热器，为以电炉丝为加热元件的加热器，其特征在于，所述电炉丝分组地安装在电炉的炉体电炉丝槽内，并配有温度控制单元，输出连接各组电炉丝的通断控制电路；在扩散泵底部设有输入连接所述温度控制单元的温度传感器，以闭环控制扩散泵的加热温度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东力诺新材料有限公司，未经山东力诺新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320090544.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
